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Débit de fuite sous vide



Le débit de fuite des installations sous vide (entendre le débit d'air extérieur pénétrant dans l'installation par les fuites), est toujours difficile à évaluer à priori.
C'est pourtant une information indispensable pour dimensionner le système de création du vide.
Deux méthodes sont généralement utilisées:
- la méthode globale qui ne tient compte que du volume et de la pression
- la méthode détaillée qui tient compte de tous les éléments susceptibles de fuire.
Pour des pressions d'équipement <530mbars (pression critique de l'air), le débit d'entrée d'air par une fuite est indépendant de la pression.

Méthode globale d'évaluation

débit de fuite en kg/h

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    pression             volume
                  1m3     10m3   100m3
-------------   -------  ------  -----
atm à 30mbars   0,5-1     2-5    15-30
  30 à 3mbars   0,2-0,5   1-3     5-15
      <3mbars   0,1-0,2  0,5-1    2-5
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Méthode détaillée d'évaluation

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                           débit kg/h
                           ----------
raccord vissé diam<50mm         0,05
bride diam - à 150mm            0,025
bride diam 150 à 600mm          0,40
bride diam 600 à 1800mm         0,50
bride diam >1800mm              1
bride ordinaire
       (par mètre de joint)     0,40
bride à emboîtement
       (par mètre de joint)     0,10
vanne                           0,50
hublot                          0,50
garniture mécanique 
   (par mm de diam d'arbre)     0,005
garniture à tresse
   (par mm de diam d'arbre)     0,025
soupape ou casse-vide
   (par mm de diam nominal)     0,02
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Mesure à l'Hélium

La capacité est mise en pression avec de l'azote contenant 1% d'Hélium, et les brides sont couvertes d'un adhésif afin de confiner la fuite.
Le détecteur est constitué d'une pompe qui aspire l'échantillon, reliée à un spectroscope de masse qui l'analyse.
Avec un mélange à 1% d'Hélium, le domaine de mesure est:
- limite inférieure: 0,01µl/sec
- limite supérieure: 30 ml/sec
La limite couramment acceptée est de 5µl/sec


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