Réglage de la pression d'un procédé sous vide

Tous les procédés opérant sous vide n'ont pas besoin d'un réglage de la pression.
Dans certains cas, plus la pression sera faible, plus efficace sera l'opération.
Dans d'autres, un contrôle rigoureux de la pression de travail peut être le gage d'une production de qualité constante.
Les méthodes pour ajuster précisément la pression de travail du procédé seront en partie fonction de la technologie employée pour aspirer les gaz.

Ajustement du débit aspiré

La plupart des pompes à vide voient la pression à l'aspiration augmenter avec le débit de gaz à aspirer. Cela permet d'ajuster cette pression en agissant artificiellement sur le débit de gaz aspiré. On peut au choix:

• introduire un débit de gaz externe (azote, vapeur, air, ...)
• recycler une portion du gaz refoulé par la pompe à vide vers l'aspiration

La pression minimale sera celle fournie par la pompe à vide au débit minimum de gaz aspiré.

Ajustement d'une perte de charge

Une vanne placée sur le circuit d'aspiration du groupe de vide créera une perte de charge conduisant à une pression dans le procédé, supérieure à ce qu'elle est à l'aspiration de la pompe.

Débit de fluide moteur d'un éjecteur

Les éjecteurs peuvent être de deux types:

• le fluide moteur est un liquide ou un gaz dont la vitesse est inférieure à la vitesse sonique; ces éjecteurs sont réservés aux vides modérés (<500 mbars).
• le fluide moteur est un gaz s'écoulant à la vitesse du son dans l'orifice; ces éjecteurs sont destinés aux vides poussés (>500 mbars)

Pour les éjecteurs dont le fluide moteur est un liquide ou un gaz à faible vitesse (inférieure à la vitesse du son), il est possible d'ajuster la pression d'aspiration en agissant sur le débit de fluide moteur.

Pour les éjecteurs dont le fluide moteur est un gaz s'écoulant à la vitesse du son dans l'orifice, toute variation de son débit affectera le mode d'écoulement. Il ne sera pas possible d'ajuster précisément la pression d'aspiration en le faisant varier.