Débit de fuite sous vide
Sommaire de la page:
Voir aussi ...
Le débit de fuite des installations sous vide (entendre le débit d'air extérieur pénétrant dans l'installation par les fuites), est toujours difficile à évaluer à priori.
C'est pourtant une information indispensable pour dimensionner le système de création du vide.
Deux méthodes sont généralement utilisées:
- la méthode globale qui ne tient compte que du volume et de la pression
- la méthode détaillée qui tient compte de tous les éléments susceptibles de fuire.
Pour des pressions d'équipement <530mbars (pression critique de l'air), le débit d'entrée d'air par une fuite est indépendant de la pression.
Méthode globale d'évaluation
débit de fuite en kg/h
====================================== pression volume 1m3 10m3 100m3 ------------- ------- ------ ----- atm à 30mbars 0,5-1 2-5 15-30 30 à 3mbars 0,2-0,5 1-3 5-15 <3mbars 0,1-0,2 0,5-1 2-5 ======================================
Méthode détaillée d'évaluation
===================================== débit kg/h ---------- raccord vissé diam<50mm 0,05 bride diam - à 150mm 0,025 bride diam 150 à 600mm 0,40 bride diam 600 à 1800mm 0,50 bride diam >1800mm 1 bride ordinaire (par mètre de joint) 0,40 bride à emboîtement (par mètre de joint) 0,10 vanne 0,50 hublot 0,50 garniture mécanique (par mm de diam d'arbre) 0,005 garniture à tresse (par mm de diam d'arbre) 0,025 soupape ou casse-vide (par mm de diam nominal) 0,02 =====================================
Mesure à l'Hélium
La capacité est mise en pression avec de l'azote contenant 1% d'Hélium, et les brides sont couvertes d'un adhésif afin de confiner la fuite.
Le détecteur est constitué d'une pompe qui aspire l'échantillon, reliée à un spectroscope de masse qui l'analyse.
Avec un mélange à 1% d'Hélium, le domaine de mesure est:
- limite inférieure: 0,01µl/sec
- limite supérieure: 30 ml/sec
La limite couramment acceptée est de 5µl/sec